菜单
退出
报价单为空
圆光栅精度检测

圆光栅尺主要用于测量转动的角位移量,能够精准地计量物体的旋转角度。由一个光栅盘和一个光电读数头组成,光栅盘上刻有精确间隔的光栅线,光栅盘与被测物体同轴安装,光电读数头检测明暗相间的干涉条纹,这些条纹的数目和位置可以通过光电读数头检测并转换为电信号,从而计算出旋转的角度位置。然而光栅线有加工误差,瑞邦精控的气浮转台角定位精度1arc sec内,能够精准地测量出误差。

1.jpg

气浮转台特点

-定位精度 1arc sec
-同步径向和轴向跳动 ≤100nm
-微动步距0.1 arc sec
-分辨率 ≤0.01 arc sec
 
测量原理

图片1.jpg